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第217章关于这个问题,我在这里告诉大家:是的,euv已经成功下线!
“老师,又有什么安排了?”
中国南方地区,某处晶圆工厂,周晓晨和他的学生李坤正在忙活着。
“行业峰会那边,我们公司准备接下和白驹科技的一个合作项目。”周晓晨说道:“这几天我们要进行一系列的方案评估。”
“什么方案,有关光刻机的吗?”
“不是,碳硅融合半导体,光刻应该是小部分,大部分应该是以半导体硅为基础进行碳纳米管安置这个动作。最终的目标,是在晶圆基础上生成高纯度、高密度的单臂碳纳米管。”
周晓晨说道:“最近,你的学习方向需要改变一下,多关注化学气相沉积cvd方案的碳纳米管生长,尤其是,怎么通过基地图案控制生长位置这个课题相关的公开论文和资料,一定要多加关注。”
“这也太难了吧?”
单臂碳纳米管这东西,不是一个新概念,而且,在白驹科技在发布会上提过碳硅融合半导体之后,几乎所有行业内的人,都重新考虑了这个东西实现的可能性。
因为现在虽然有相关理论,但是,当前就只能做到以半导体为主,碳纳米管辅助多层芯片联系,是做不到高密度,更别说还是立体的高密度碳纳米管在晶圆半导体里的特定生长的。
“难?那你觉得,我们搞euv光刻机难不难?”周晓晨问了这么一句话:“机会必须要抓住!”
这次的行业峰会,白驹科技公开了他们的乙级合作项目。
其中,最重要的两块儿内容,一个是立体立体五感通信网络,另一个就是碳硅融合半导体制造这一条线上的上下游。
碳硅融合半导体的相关研究,目前确定的是华为和沪上微电子、白驹科技三方共同研究。
而周晓晨,是沪上微电子装备的少壮派,系统微环境工程师。
当前,他的主要工作就是光刻机和晶圆产线中复杂微环境分系统的建模、仿真、分析。
微环境系统这个东西,它是涉及力学、热能工程、环境工程、建筑环境与设备、机械设计及自动化、控制工程、机电工程、信息工程等非常多的学科,同时也是一个融合性的一个系统工程。
这个系统有多复杂?
这么说吧,我国的光刻机,尤其是euv光刻机,量产一次又一次的跳票,30是因为部分精尖端的零部件,比如光源系统、物镜系统等,但至少一半原因,是因为微环境系统的问题。
换句话说,同样的零部件、甚至同样的机器,在不同的地方,不同的人来进行组装维护,那最终所呈现的效果甚至可以完全不同。
差之毫厘,谬以千里,是精密制造最真实的写照。
就拿芯片制造来说,有时候01摄氏度的温度差别,可能就会导致20的良率下降。
但,这种细微的问题如何发现?如何解决?融合诸多学科的微环境建模,然后反馈生产系统进行拟合调节。
而周晓晨,在euv光刻机和晶圆产线这个领域,他并不突出。
别说全世界,世界上最优秀的芯片产业微环境工程师肯定在阿斯麦和台积电,就算是国内,他也只是第二梯队的。
这事儿难不难?
不难?沪上微电子做这件事儿,至少5年以上了,截止到几个月前,进度还非常堪忧。
难?
看着现在的生产数据参数,周晓晨是说不出这个话的——当前,这条产线等效台积电n4p制程工艺的良率已经达到了75,就在前两天,小组还在评估尝试下一个工艺节点的事情。
n4p,实际晶圆密度当然达不到4n,现在大家都是以等效来论的,而南部工厂这边,也是采用和台积电同样的标准,以便于进行相关的对比。
n4p这个工艺,是台积电21年10月宣布的,但到现在24年1月,三年半的时间过去了,它现在的良率依然也就在哎75左右。
而在小沙的帮助下,周晓晨仅仅用了一个月就达到了这个成果。
这意味着什么?对比对比另一家就很明显了,三星同样的工艺,从25的良率提升到60就足足调试了一年。
“所以,李坤,你明白了吗?难不难不重要,只要我们有方向,再加上小沙,那一步一步的往下突破,迟早所有问题就都能解决。”
周晓晨笑道:“这也是数字分身和外置记忆独有的优势。”
李坤知道,老师在解决问题的基础上,也在试图改变他的思想。
白驹科技的数字分身服务,已经开启了近一个月了,直到现在,依然有很多人不理解:为什么不直接把世界上所有的知识都存到我的外置记忆的数字分身里呢?
李坤起初也是这么想的,当时周晓晨就告诉他:我,在小沙的帮助下可以很快的做到euv的n4乃至n3级别的量产,但是你不行。
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