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“就叫华辰EUV光刻机。”
江奕辰摆摆手,对取名这个想法,并没有特别大的兴趣。
只要能用,这机器就是好的。
要是不能用,叫啥高大上的名字,也是白搭。
EUV,那是极紫外线光刻机(ExtremeUltra-violetLithographyMachine)的简称。
这也算是在业界约定成俗,直接叫这个,大部分人都知道这是什么类的光刻机。
“先测试曝光。”
江奕辰扬手吩咐。
当然不需要他出手,这群激动的工程师们就嗷嗷叫地开启了光刻机。
因为是测试样机,并没有啥包装设计,没有必要的装饰板一个没有,裸机看起来,有些不好看。
但总体的设计语言很不错,看起来有种工业的美感。
这,就是工业上最大的一颗明珠了吧。
机器启动,黄小婷选择了测试程序。
双工件台也开始了运转,一片晶圆被送了上去,而后进入了光刻环节。
强大的光源系统,让激光碰上了气体,激发了极紫外线光。
复杂的透镜系统,过滤或是反射掉了那些不需要的光,留下了极为纯净且带有足够能量的极紫外光。
透过掩膜版,照射在了晶圆上面的光刻胶上。
随着光线的照射,光刻胶发生了化学反应,形成微小的电路图案。
这个过程需要极高的精度和稳定性,任何微小的偏差都可能导致整个芯片的失效。
江奕辰紧盯着监控屏幕,观察着每一个细节。
EUV光刻机的光刻性能直接关系到芯片的质量和产量,而芯片则是现代电子设备的核心。
“看起来不错。”
他微微点头,对工程师们说道,“等会看看测量结果。”
工程师们忍着心头的激动,依然稳步开展着光刻测试。
随着时间推移,测试逐渐进入了尾声。
晶圆被送出光刻机,进入了下一个环节。
工程师们轻手轻脚地夹着去做蚀刻等工艺。
在无尘车间,昏黄的灯光下,一切都顺利进行着。
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